中華人民共和國國家標準

發(fā)光二極管工廠設(shè)計規(guī)范

Code for design of light emitting diode plant

GB 51209-2016

主編部門:中華人民共和國工業(yè)和信息化部

批準部門:中華人民共和國住房和城鄉(xiāng)建設(shè)部施行日期:2017年7月1日

中華人民共和國住房和城鄉(xiāng)建設(shè)部公告第1352號

住房城鄉(xiāng)建設(shè)部關(guān)于發(fā)布國家標準《發(fā)光二極管工廠設(shè)計規(guī)范》的公告

現(xiàn)批準《發(fā)光二極管工廠設(shè)計規(guī)范》為國家標準，編號為GB 51209-2016，自2017年7月1日起實施。其中，第8.2.3、8.3.3(1)、8.3.9、8.3.11、10.2.9條(款)為強制性條文，必須嚴格執(zhí)行。

本規(guī)范由我部標準定額研究所組織中國計劃出版社出版發(fā)行。

中華人民共和國住房和城鄉(xiāng)建設(shè)部

2016年10月24日

前言

根據(jù)住房城鄉(xiāng)建設(shè)部《關(guān)于印發(fā)<2010年工程建設(shè)標準規(guī)范制訂、修訂計劃>的通知》(建標[2010]43號)的要求，由工業(yè)和信息化部電子工業(yè)標準化研究院電子工程標準定額站與中國電子工程設(shè)計院會同有關(guān)單位共同編制完成。

在規(guī)范編制過程中，編寫組根據(jù)我國發(fā)光二極管工廠的設(shè)計、建造和運行的實際情況，進行了廣泛的調(diào)查研究，收集了有關(guān)發(fā)光二極管工廠的設(shè)計要求，認真總結(jié)實踐經(jīng)驗，同時考慮我國目前生產(chǎn)的現(xiàn)狀，參考國外有關(guān)的標準規(guī)范，廣泛征求了國內(nèi)有關(guān)單位與專家意見，最后經(jīng)審查定稿。

本規(guī)范共分13章和3個附錄，主要技術(shù)內(nèi)容包括：總則，術(shù)語，基本規(guī)定，工藝，總圖，建筑，結(jié)構(gòu)，動力及氣體工程，供暖、通風(fēng)、空氣調(diào)節(jié)與凈化，給水排水，電氣，防靜電和空間管理等。

本規(guī)范中以黑體字標志的條文為強制性條文，必須嚴格執(zhí)行。

本規(guī)范由住房城鄉(xiāng)建設(shè)部負責(zé)管理和對強制性條文的解釋，由工業(yè)和信息化部負責(zé)日常管理，由中國電子工程設(shè)計院負責(zé)具體技術(shù)內(nèi)容的解釋。執(zhí)行過程中如有意見或建議，請寄送中國電子工程設(shè)計院(地址：北京市海淀區(qū)西四環(huán)北路160號，郵政編碼：100142，傳真：010-88193999)，以便今后修訂時參考。

本規(guī)范主編單位、參編單位、主要起草人和主要審查人：

主編單位：工業(yè)和信息化部電子工業(yè)標準化研究院電子工程標準定額站

中國電子工程設(shè)計院

參編單位：世源科技工程有限公司

信息產(chǎn)業(yè)電子第十一設(shè)計研究院科技工程股份有限公司

上海電子工程設(shè)計研究院有限公司

廈門市三安光電股份有限公司

主要起草人：羅橋 張東 晁陽 趙廣鵬 鄭秉孝 李驥 秦學(xué)禮 肖紅梅 李錦生 吳曉斌 鐘景華 張曉敏 韓方俊 薛長立 陳陣 李志偉 黃繼紅 云庚 王立 趙玉娟

主要審查人：徐征 杜寶強 呂婌宜 張同億 任兆成 李道本 任向東 施紅平 劉國旭

以下規(guī)范內(nèi)容由合景凈化工程公司http://www.i8zyd1h.cn/進行整理編輯

1總則

1.0.1 為規(guī)范發(fā)光二極管工廠設(shè)計，做到安全適用、確保生產(chǎn)、經(jīng)濟合理、技術(shù)先進、環(huán)境保護，制定本規(guī)范。

1.0.2 本規(guī)范適用于新建、擴建和改建的發(fā)光二極管工廠的工程設(shè)計。

1.0.3 發(fā)光二極管工廠設(shè)計除應(yīng)執(zhí)行本規(guī)范外，尚應(yīng)符合國家現(xiàn)行有關(guān)標準的規(guī)定。

2術(shù)語

2.0.1 發(fā)光二極管 light emitting diode(LED)

一種能夠?qū)㈦娔苻D(zhuǎn)化為可見光的固態(tài)半導(dǎo)體器件。

2.0.2 外延 epitaxy

在單晶襯底(基片)上生長一層或多層有一定要求的、與襯底晶向相同或相似的單品層的生長技術(shù)。

2.0.3 金屬有機化合物化學(xué)氣相沉積 metal-organic chemical vapor deposition(MOCVD)

以Ⅲ族、Ⅱ族元素的金屬有機化合物和Ⅴ、Ⅵ族元素的氫化物等作為品體生長原材料，以熱分解反應(yīng)方式在襯底上進行氣相外延，生長各種Ⅲ-Ⅴ族、Ⅱ-Ⅵ族化合物半導(dǎo)體及其多元薄層單晶材料的工藝過程。

2.0.4 空間管理 space management

為有效利用空間、縮短工作流程，對大到整個廠區(qū)的建筑物布局、地下管線規(guī)劃，小到一棟建筑物內(nèi)部各個專業(yè)間的配置協(xié)調(diào)而進行的設(shè)計。

3基本規(guī)定

3.0.1 發(fā)光二極管工廠設(shè)計應(yīng)滿足發(fā)光二極管產(chǎn)品生產(chǎn)工藝要求，并應(yīng)根據(jù)具體情況為今后生產(chǎn)發(fā)展或生產(chǎn)工藝改進的需要預(yù)留條件。

3.0.2 發(fā)光二極管工廠設(shè)計應(yīng)根據(jù)生產(chǎn)工藝的特點，采用節(jié)能環(huán)保的新技術(shù)、新設(shè)備、新材料。

3.0.3 發(fā)光二極管工廠設(shè)計應(yīng)為施工安裝、調(diào)試檢測和安全運行、維護管理創(chuàng)造條件。

4工藝

4.1 一般規(guī)定

4.1.1 發(fā)光二極管工廠工藝設(shè)計應(yīng)符合下列規(guī)定：

1 采用效率高的生產(chǎn)工藝；

2 提高工藝流程的合理性；

3 采用經(jīng)濟、適用的工藝參數(shù)；

4 具有適度的靈活性和適應(yīng)性。

4.1.2 工藝設(shè)計應(yīng)滿足工藝生產(chǎn)的要求，并為產(chǎn)品的規(guī)?；a(chǎn)、升級改造預(yù)留下列條件：

1 工藝設(shè)備數(shù)量增加、工藝設(shè)備占地面積增加所需要的面積條件；

2 工藝設(shè)備變更、工藝設(shè)備高度增加所需要的空間條件；

3 工藝設(shè)備變更、工藝設(shè)備數(shù)量增加所需要增加的動力條件。

4.1.3 生產(chǎn)線的產(chǎn)能設(shè)計應(yīng)符合經(jīng)濟規(guī)模要求;當(dāng)生產(chǎn)線需分期實施時，工藝設(shè)計中應(yīng)預(yù)留動力條件。

4.1.4 工藝設(shè)計應(yīng)明確生產(chǎn)環(huán)境和動力供應(yīng)要求，并應(yīng)滿足生產(chǎn)工藝和設(shè)備正常運行的要求。主要工序生產(chǎn)環(huán)境要求可按照附錄A執(zhí)行。

4.1.5 工藝設(shè)計應(yīng)明確工藝生產(chǎn)動力品質(zhì)要求。發(fā)光二極管生產(chǎn)工藝動力品質(zhì)要求可按照附錄B執(zhí)行。

4.1.6 主要生產(chǎn)車間的生產(chǎn)設(shè)備宜連續(xù)運轉(zhuǎn)，其他輔助生產(chǎn)車間可根據(jù)其具體特點靈活配套。

4.2 基本工序與生產(chǎn)協(xié)作

4.2.1 生產(chǎn)的基本工序應(yīng)根據(jù)產(chǎn)品的生產(chǎn)工藝確定。生產(chǎn)工序可根據(jù)附錄C所列的工藝流程確定。

4.2.2 生產(chǎn)的主要工序宜完整，輔助生產(chǎn)工序可通過外協(xié)方式完成。

4.2.3 在工藝設(shè)計中，根據(jù)外協(xié)的具體內(nèi)容及要求設(shè)置滿足外部協(xié)作需要的相關(guān)配套設(shè)施。

4.2.4 工藝設(shè)計應(yīng)滿足發(fā)光二極管工廠的生產(chǎn)、輔助生產(chǎn)、管理和運營設(shè)施、勞動安全、職業(yè)衛(wèi)生和環(huán)境保護等管理、檢測、教育和培訓(xùn)設(shè)施的設(shè)計要求。

4.3 工藝區(qū)劃

4.3.1 生產(chǎn)廠房內(nèi)的工藝功能區(qū)應(yīng)依據(jù)生產(chǎn)的工藝流程，按照生產(chǎn)的基本工序進行劃分，相同的工序宜集中布置。典型的工藝流程可按照附錄C設(shè)置。

4.3.2 生產(chǎn)廠房內(nèi)的工藝區(qū)應(yīng)分別設(shè)置人員出入口、物料出入口。

4.3.3 工藝平面布置應(yīng)設(shè)置設(shè)備搬入口和設(shè)備搬入通道。

4.3.4 生產(chǎn)區(qū)的參觀設(shè)施，應(yīng)與生產(chǎn)環(huán)境相隔離。

4.4 設(shè)備布置

4.4.1 振動敏感設(shè)備宜遠離振動源布置。

4.4.2 生產(chǎn)設(shè)備宜根據(jù)工藝流程集中布置，并考慮設(shè)備搬運、維修空間。

4.4.3 金屬有機化合物化學(xué)氣相沉積設(shè)備及其輔助設(shè)備宜集中布置。

4.4.4 氣瓶柜、尾氣處理設(shè)備、氣體純化柜等金屬有機化學(xué)氣相沉積設(shè)備的輔助設(shè)備的布置方式，應(yīng)符合現(xiàn)行國家標準《建筑設(shè)計防火規(guī)范》GB 50016和《特種氣體系統(tǒng)工程技術(shù)規(guī)范》GB 50646的有關(guān)規(guī)定。

5總圖

5.1 廠址選擇

5.1.1 發(fā)光二極管工廠的廠址選擇應(yīng)按建設(shè)規(guī)模、原材料供應(yīng)、供電、供水、供氣、工程地質(zhì)和企業(yè)協(xié)作條件、場地現(xiàn)有設(shè)施、環(huán)境保護等因素進行技術(shù)經(jīng)濟比較后確定。

5.1.2 廠址選擇應(yīng)符合下列規(guī)定：

1 避免生產(chǎn)的危險或有害因素對周邊人群居住或活動環(huán)境造成污染與危害;

2 避開空氣經(jīng)常受懸浮物污染的地區(qū)；

3 場地應(yīng)相對平整，距外界強振源較遠。

5.1.3 廠址不應(yīng)選擇在下列地區(qū)：

1 易受洪水、潮水、內(nèi)澇威脅的區(qū)域；

2 工程地質(zhì)、水文復(fù)雜的地帶和地震設(shè)防烈度高于9度的地區(qū)；

3 采礦陷落(錯動)區(qū)界限內(nèi)；

4 重要的供水水源衛(wèi)生保護區(qū)；

5 Ⅳ級自重濕陷性黃土、厚度大的新近堆積黃土、高壓縮性的飽和黃土和Ⅲ級膨脹土等工程地質(zhì)地區(qū)；

6 有用礦藏地區(qū)。

5.2 總平面布置

5.2.1 發(fā)光二極管工廠總體規(guī)劃，應(yīng)符合所在地區(qū)的區(qū)域規(guī)劃、城鎮(zhèn)規(guī)劃的要求。

5.2.2 總平面布置應(yīng)符合下列規(guī)定：

1 主廠房宜根據(jù)生產(chǎn)工藝特點和各種功能區(qū)的要求，按組合式、大體量的綜合性廠房布置；

2 廠區(qū)內(nèi)生產(chǎn)區(qū)、動力輔助區(qū)、倉儲區(qū)和辦公、生活區(qū)等功能區(qū)域應(yīng)合理布置；

3 有微振控制要求的潔凈廠房總平面布置時，應(yīng)考慮鄰近存在較大振動的振源對精密設(shè)備、儀器的振動影響；

4 工廠的動力設(shè)施宜集中布置并靠近工廠的負荷中心；

5 廠區(qū)人流和物流的出入口宜分開設(shè)置;原料物料的運輸路線應(yīng)短捷、方便，避免人流和物流之間的混雜和交叉。

5.2.3 廠區(qū)給水、排水、循環(huán)水及動力電纜等管線宜選用地下敷設(shè)方式;廠區(qū)易燃可燃液體、燃氣、熱力、壓縮空氣及保護氣體、通信信號電纜等管線宜選用地上管架敷設(shè)方式;地上、地下管線的布置應(yīng)符合現(xiàn)行國家標準《工業(yè)企業(yè)總平面設(shè)計規(guī)范》GB 50187的有關(guān)規(guī)定。

5.2.4 廠區(qū)道路面層應(yīng)選用整體性能好、發(fā)塵少的材料。

5.2.5 廠區(qū)應(yīng)合理進行綠化，但不宜種植對生產(chǎn)環(huán)境和產(chǎn)品質(zhì)量有影響的植物。

6建筑

6.1 一般規(guī)定

6.1.1 發(fā)光二極管工廠可由生產(chǎn)廠房、動力廠房、化學(xué)品庫、氣站、倉庫及辦公樓等建筑組成。

6.1.2 生產(chǎn)廠房的建筑平面和空間布局，應(yīng)根據(jù)生產(chǎn)工藝、工藝改造和擴大生產(chǎn)規(guī)模的要求確定。

6.1.3 生產(chǎn)廠房圍護結(jié)構(gòu)材料的選擇應(yīng)滿足生產(chǎn)對環(huán)境的氣密、保溫、隔熱、防火、防潮、防塵、耐久、易清洗等要求。外圍護結(jié)構(gòu)及節(jié)點部位的內(nèi)表面溫度不應(yīng)低于室內(nèi)空氣露點溫度。

6.1.4 技術(shù)夾層、技術(shù)夾道應(yīng)滿足各種風(fēng)管和各種動力管線安裝、維修要求。穿越樓層的豎向管線需暗敷時，宜設(shè)置技術(shù)豎井，其形式、尺寸和構(gòu)造應(yīng)滿足風(fēng)管、管線的安裝、檢修和防火要求。

6.1.5 廠房的平面布局和構(gòu)造處理，宜避免人流、物流運輸及防火對潔凈生產(chǎn)環(huán)境帶來不利的影響。生產(chǎn)輔助部門等與生產(chǎn)密切聯(lián)系的部門應(yīng)盡量靠近生產(chǎn)區(qū)。

6.1.6 廠房內(nèi)宜設(shè)置工藝設(shè)備、動力設(shè)備的搬入及運輸安裝通道;通道寬度應(yīng)滿足人員操作、物料運輸、設(shè)備安裝、檢修的要求。

6.1.7 廠房室內(nèi)裝修應(yīng)符合現(xiàn)行國家標準《建筑內(nèi)部裝修設(shè)計防火規(guī)范》GB 50222和《電子工業(yè)潔凈廠房設(shè)計規(guī)范》GB 50472的有關(guān)規(guī)定。

6.2 防火及安全疏散

6.2.1 發(fā)光二極管工廠建筑的耐火等級不應(yīng)低于二級。

6.2.2 金屬有機化合物化學(xué)氣相沉積間的火災(zāi)危險性分類在滿足下列條件時應(yīng)按丙類，否則應(yīng)按甲類設(shè)防：

1 設(shè)備密閉性良好；

2 設(shè)有氣體或可燃蒸汽報警裝置和滅火裝置。

6.2.3 其他生產(chǎn)區(qū)的火災(zāi)危險性分類，應(yīng)符合現(xiàn)行國家標準《建筑設(shè)計防火規(guī)范》GB 50016和《電子工業(yè)潔凈廠房設(shè)計規(guī)范》GB 50472的有關(guān)規(guī)定。

6.2.4 廠房內(nèi)防火分區(qū)的劃分，應(yīng)符合現(xiàn)行國家標準《建筑設(shè)計防火規(guī)范》GB 50016和《電子工業(yè)潔凈廠房設(shè)計規(guī)范》GB 50472的有關(guān)規(guī)定。

6.2.5 廠房安全出口的設(shè)置、安全疏散距離應(yīng)符合現(xiàn)行國家標準《建筑設(shè)計防火規(guī)范》GB 50016和《電子工業(yè)潔凈廠房設(shè)計規(guī)范》GB 50472的有關(guān)規(guī)定。

6.2.6 危險化學(xué)品儲存區(qū)域和分配區(qū)不得設(shè)置在人員密集房間和疏散走廊的上方、下方或貼鄰;特氣間、氣體純化間等有爆炸危險性房間應(yīng)靠外墻布置，房間泄壓面積應(yīng)符合現(xiàn)行國家標準《建筑設(shè)計防火規(guī)范》GB 50016的有關(guān)規(guī)定。

6.2.7 易燃易爆化學(xué)品儲存間、分配間，應(yīng)采用不發(fā)生火花的防靜電地面;腐蝕性化學(xué)品儲存間、分配間應(yīng)采用防腐蝕地面。

7結(jié)構(gòu)

7.1 一般規(guī)定

7.1.1 發(fā)光二極管工廠光刻機等精密設(shè)備基礎(chǔ)應(yīng)滿足微振動控制的要求。

7.1.2 產(chǎn)生較大振動的設(shè)備基礎(chǔ)宜遠離光刻機等精密設(shè)備區(qū)域;當(dāng)無法遠離時，對產(chǎn)生較大振動的設(shè)備應(yīng)采取有效的隔振措施。

7.1.3 生產(chǎn)廠房工藝生產(chǎn)區(qū)的結(jié)構(gòu)不宜設(shè)置伸縮縫。

7.2 結(jié)構(gòu)設(shè)計

7.2.1 發(fā)光二極管生產(chǎn)廠房可根據(jù)工藝生產(chǎn)要求采用下列結(jié)構(gòu)體系：

1 單層排架結(jié)構(gòu)體系；

2 單層門式剛架鋼結(jié)構(gòu)體系；

3 多層框架結(jié)構(gòu)體系；

4 多層框排架結(jié)構(gòu)體系。

7.2.2 精密設(shè)備基礎(chǔ)宜避開廠房柱基礎(chǔ);無法避開時，應(yīng)考慮廠房柱基礎(chǔ)沉降引起精密設(shè)備基礎(chǔ)的地基變形計算。

7.2.3 光刻機等精密設(shè)備基礎(chǔ)在首層的微振動控制應(yīng)根據(jù)其特性，采取防微振措施，并應(yīng)符合下列規(guī)定：

1 首層應(yīng)做鋼筋混凝土地面，厚度不宜小于250mm；

2 設(shè)備基礎(chǔ)厚度不宜小于800mm，并應(yīng)與首層的鋼筋混凝土地面連為一體；

3 有沖擊荷載的設(shè)備應(yīng)遠離光刻機等精密設(shè)備，且宜在有沖擊荷載設(shè)備的周邊設(shè)置隔振溝；

4 精密設(shè)備的基礎(chǔ)安全等級應(yīng)不低于二級。

7.2.4 樓層和屋頂?shù)钠胀ㄔO(shè)備基礎(chǔ)應(yīng)符合下列規(guī)定：

1 不宜采用整片的鋼筋混凝土基礎(chǔ)，宜根據(jù)設(shè)備支承點位置采用鋼筋混凝土支墩或鋼筋混凝土條形基礎(chǔ)；

2 設(shè)備基礎(chǔ)不應(yīng)跨越伸縮縫；

3 設(shè)備基礎(chǔ)宜布置在柱頂、主梁或次梁上。

7.2.5 應(yīng)考慮樓層上設(shè)備的布置范圍和運輸安裝區(qū)域的荷載，并對受此荷載影響的梁、柱和基礎(chǔ)根據(jù)正常使用極限狀態(tài)和承載能力極限狀態(tài)的要求進行驗算。

7.2.6 生產(chǎn)廠房樓層、屋頂應(yīng)按照實際吊掛的管道、吊頂建筑做法等，計算吊掛荷載標準值，但不宜小于0.50kN/m2。

7.2.7 用于吊掛管道的預(yù)埋件宜在鋼筋混凝土梁的梁側(cè)設(shè)置，應(yīng)根據(jù)水管的重量和吊掛點的間距驗算預(yù)埋件的承載力。

8動力及氣體工程

8.1 冷熱源

8.1.1 發(fā)光二極管工廠人工冷熱源宜采用集中設(shè)置的冷(熱)水機組和供熱、換熱設(shè)備。機型和設(shè)備選擇，應(yīng)根據(jù)工廠所在地區(qū)的氣候、能源結(jié)構(gòu)、政策、價格及環(huán)保規(guī)定，按下列規(guī)定綜合比較確定：

1 熱源應(yīng)優(yōu)先采用城市、區(qū)域供熱和工廠余熱；

2 具有城市工業(yè)燃氣供應(yīng)的地區(qū)，可采用燃氣鍋爐、燃氣熱水機組供熱或燃氣吸收式冷(熱)水機組供冷、供熱；

3 工廠也可采用燃煤鍋爐、燃油鍋爐供熱.電動壓縮式冷水機組供冷或燃油吸收式冷(熱)水機組供冷、供熱；

4 在夏熱冬冷地區(qū)的辦公樓、生活區(qū)可采用空氣源熱泵或地源熱泵冷(熱)水機組供冷、供熱。

8.1.2 同時需要供冷和供熱時，冷水機組宜根據(jù)負荷要求選用熱回收機組，并采用自動控制的方式調(diào)節(jié)機組的供熱量。

8.1.3 冷熱源設(shè)備臺數(shù)和單臺容量應(yīng)根據(jù)全年冷熱負荷工況合理選擇，并應(yīng)保證設(shè)備在高、低負荷工況下均能安全、高效運行。

8.1.4 過渡季節(jié)或冬季需用一定量的供冷負荷時，可利用冷卻塔作為冷源設(shè)備。

8.1.5 在滿足工藝及空調(diào)用冷凍水溫度的前提下，應(yīng)加大冷凍水供、回水溫差和提高冷水機組的出水溫度。

8.1.6 當(dāng)冷負荷變化較大時，經(jīng)過經(jīng)濟技術(shù)比較，冷源系統(tǒng)的部分或全部設(shè)備宜采用變頻調(diào)速控制。

8.1.7 電動壓縮式冷水機組的裝機容量應(yīng)符合現(xiàn)行國家標準《工業(yè)建筑供暖通風(fēng)與空氣調(diào)節(jié)設(shè)計規(guī)范》GB 50019的有關(guān)規(guī)定。

8.1.8 電動壓縮式制冷機組的制冷劑應(yīng)符合有關(guān)環(huán)保的要求，當(dāng)采用過渡制冷劑時，其使用年限應(yīng)符合相關(guān)要求。

8.1.9 燃油燃氣鍋爐應(yīng)選用帶比例調(diào)節(jié)燃燒器的全自動鍋爐，且每臺鍋爐宜獨立設(shè)置煙囪，煙囪的高度應(yīng)滿足項目環(huán)境評價文件的要求，并應(yīng)符合現(xiàn)行國家標準《鍋爐大氣污染物排放標準》GB 13271的有關(guān)規(guī)定。

8.1.10 鍋爐排放的大氣污染物，應(yīng)符合大氣污染物排放標準的要求，并應(yīng)符合現(xiàn)行國家標準《鍋爐大氣污染物排放標準》GB 13271和《大氣污染物綜合排放標準》GB 16297的有關(guān)規(guī)定。

8.2 大宗氣體供應(yīng)

8.2.1 大宗氣體管道系統(tǒng)設(shè)計應(yīng)符合下列規(guī)定：

1 大宗氣體的供氣方式應(yīng)根據(jù)氣體用量、氣體品質(zhì)和當(dāng)?shù)氐墓鉅顩r等因素，經(jīng)技術(shù)經(jīng)濟比較后確定；

2 氫氣、氧氣管道的終端或最高點應(yīng)設(shè)置放散管，放散管應(yīng)引至室外并高出建筑的屋脊1m，氫氣放散管道上應(yīng)設(shè)置阻火器；

3 潔凈室內(nèi)的氫氣管道應(yīng)明敷，穿過潔凈室的墻壁或樓板處的管段應(yīng)設(shè)置套管，套管內(nèi)的管道不應(yīng)有焊縫，套管與管道之間應(yīng)采取密封措施；

4 氫氣管道不得穿過不使用氫氣的房間;當(dāng)必須穿過時應(yīng)設(shè)套管或使用雙層管。

8.2.2 高純氣體管道設(shè)計應(yīng)符合下列規(guī)定：

1 管徑應(yīng)按氣體容許流量、壓力或生產(chǎn)工藝設(shè)備確定，管外徑不宜小于6mm；

2 管道布置不應(yīng)出現(xiàn)不易吹除的“盲管”等死空間；

3 管道系統(tǒng)應(yīng)設(shè)置吹掃口和取樣口。

8.2.3 設(shè)有氫氣等可燃氣體裝置的氣體純化間或氣體入口室的火災(zāi)危險性應(yīng)按甲類確定，并應(yīng)符合下列規(guī)定：

1 應(yīng)靠外墻設(shè)置，并應(yīng)設(shè)置防爆泄壓設(shè)施；

2 氫氣等可燃氣體引入管道上應(yīng)設(shè)置自動切斷閥；

3 應(yīng)具有機械通風(fēng)裝置，并應(yīng)設(shè)置事故排風(fēng)裝置；

4 應(yīng)設(shè)置氣體泄漏報警裝置，并應(yīng)與事故排風(fēng)裝置聯(lián)鎖。

8.2.4 大宗氣體管道和閥門應(yīng)根據(jù)生產(chǎn)工藝要求選擇，并應(yīng)符合下列規(guī)定：

1 氣體純度大于或等于99.9999%時，宜采用內(nèi)壁電拋光的奧氏體超低碳不銹鋼管，閥門應(yīng)采用隔膜閥、波紋管閥；

2 氣體純度大于或等于99.999%、露點低于—76℃時，宜采用內(nèi)壁電拋光的奧氏體超低碳不銹鋼管或內(nèi)壁電拋光的低碳奧氏體不銹鋼管，閥門宜采用隔膜閥或波紋管閥；

3 氣體純度大于或等于99.99%、露點低于—60℃時，宜采用內(nèi)壁拋光的奧氏體不銹鋼管，除可燃氣體管道宜采用波紋管閥外，其余氣體管道可采用球閥；

4 氣體管道閥門、附件的材質(zhì)宜與相連接的管道材質(zhì)一致。

8.2.5 氣體管道連接應(yīng)符合下列規(guī)定：

1 管道連接應(yīng)采用焊接，不銹鋼管宜采用自動氬弧焊或等離子熔透對接焊；

2 管道與設(shè)備或閥門的連接，宜采用表面密封的接頭或雙卡套，接頭或雙卡套的密封材料宜采用金屬墊或聚四氟乙烯墊；

3 管道與設(shè)備的連接應(yīng)符合設(shè)備連接的要求，當(dāng)采用軟管連接時，應(yīng)采用金屬軟管。

8.3 特種氣體供應(yīng)

8.3.1 特種氣體應(yīng)采用外購鋼瓶氣體、液態(tài)氣體，在工廠內(nèi)設(shè)置儲存、分配系統(tǒng)。

8.3.2 特種氣體儲存分配系統(tǒng)設(shè)備，應(yīng)根據(jù)特種氣體的性質(zhì)和儲存數(shù)量布置在獨立的建構(gòu)筑物內(nèi)，或布置在生產(chǎn)廠房內(nèi)。

8.3.3 特種氣體系統(tǒng)的氣瓶柜、氣瓶架的設(shè)置應(yīng)符合下列規(guī)定：

1 不相容氣體瓶嚴禁放置于同一氣瓶柜或氣瓶架中；

2 不相容的特種氣體的氣瓶架應(yīng)布置在不同房間里;當(dāng)布置在同一房間時，不相容特種氣體的氣瓶柜、氣瓶架之間的距離應(yīng)大于6m；

3 氣瓶柜閉門時的排風(fēng)換氣次數(shù)不得低于300次/h，且氣瓶柜應(yīng)保持負壓；

4 自燃、可燃、毒性、腐蝕性氣瓶柜應(yīng)在排風(fēng)出口設(shè)置氣體泄漏探測器;

5 氣瓶柜門應(yīng)具備自動關(guān)閉功能，并應(yīng)配備防爆玻璃觀察窗;氣瓶柜應(yīng)采取抗震措施，設(shè)計應(yīng)滿足當(dāng)?shù)乜拐鹪O(shè)防烈度的要求。

8.3.4 可燃、自燃特種氣體的氣瓶柜應(yīng)符合下列規(guī)定：

1 硅烷氣瓶柜閉門時的排風(fēng)換氣次數(shù)不得低于1200次/h，且應(yīng)連續(xù)監(jiān)控氣瓶柜的負壓；

2 自燃特種氣體的氣瓶柜應(yīng)設(shè)置紫外、紅外火焰探測器及水噴淋系統(tǒng)；

3 可燃特種氣體的氣瓶柜應(yīng)設(shè)置水噴淋系統(tǒng)；

4 自燃、可燃特種氣體的氣瓶柜應(yīng)在氣瓶之間設(shè)置隔離鋼板。

8.3.5 特種氣體系統(tǒng)吹掃氮氣的設(shè)置，應(yīng)符合下列規(guī)定：

1 特種氣體系統(tǒng)的吹掃氮氣應(yīng)與獨立的氮氣源連接，不得與公用氮氣或工藝氮氣系統(tǒng)相連；

2 不相容性特種氣體系統(tǒng)的吹掃氮氣不得共用同一氮氣源；

3 吹掃氮氣管線應(yīng)設(shè)置止回閥。

8.3.6 特種氣體排氣與廢氣處理的設(shè)置應(yīng)符合下列規(guī)定：

1 特種氣體系統(tǒng)的排氣管應(yīng)設(shè)置氮氣稀釋與連續(xù)吹掃；

2 不相容性特種氣體的排氣不得接入同一排氣主管；

3 自燃、可燃、毒性、腐蝕性特種氣體的排氣應(yīng)經(jīng)過尾氣處理裝置進行處理，排放應(yīng)符合現(xiàn)行國家標準《大氣污染物綜合排放標準》GB 16297的有關(guān)規(guī)定。

8.3.7 生產(chǎn)廠房內(nèi)的可燃和毒性特種氣體管道應(yīng)明敷，穿過生產(chǎn)區(qū)墻壁與樓板處的管段應(yīng)設(shè)置套管，套管內(nèi)的管道不得有焊縫，套管與管道之間應(yīng)采用密封措施?？扇肌⒍拘?、腐蝕性氣體管道的機械連接處，應(yīng)置于排風(fēng)罩內(nèi)。

8.3.8 特種氣體和吹掃氣體的管道和管件應(yīng)采用奧氏體超低碳不銹鋼無縫鋼管，內(nèi)表面應(yīng)進行潔凈和鈍化處理。

8.3.9 自燃、可燃、氧化性特種氣體管道，應(yīng)設(shè)置靜電泄放的接地設(shè)施。

8.3.10 室外布置的特種氣體管道應(yīng)架空布置。

8.3.11 當(dāng)特種氣體為硅烷、磷烷、砷烷時，應(yīng)采用雙層管道設(shè)計。

8.3.12 特種氣體采用雙層管輸送時，雙層管的外層管道宜采用SS304奧氏體不銹鋼管道，內(nèi)層管道應(yīng)與所輸送特種氣體的性質(zhì)匹配。

8.4 動力氣體供應(yīng)

8.4.1 干燥壓縮空氣系統(tǒng)應(yīng)根據(jù)生產(chǎn)工藝對供氣量和供氣品質(zhì)等因素確定，并應(yīng)符合下列規(guī)定：

1 干燥壓縮空氣系統(tǒng)的供氣規(guī)模應(yīng)按生產(chǎn)工藝所需實際用氣量及系統(tǒng)損耗量確定；

2 供氣設(shè)備可集中布置在生產(chǎn)廠房內(nèi)的供氣站或生產(chǎn)廠房外的綜合動力站內(nèi)。

8.4.2 風(fēng)冷式空氣壓縮機及風(fēng)冷式干燥裝置的設(shè)備布置應(yīng)防止冷卻空氣發(fā)生短路現(xiàn)象。

8.4.3 當(dāng)干燥壓縮空氣輸送露點低于—76℃時，可采用內(nèi)壁電拋光不銹鋼管;當(dāng)干燥壓縮空氣輸送露點低于—40℃時，應(yīng)采用不銹鋼管或鍍鋅碳鋼管。

8.4.4 壓縮空氣系統(tǒng)的管道設(shè)計應(yīng)符合下列規(guī)定：

1 壓縮空氣主管道的直徑應(yīng)按照全系統(tǒng)實際用氣量進行設(shè)計，支干管道的直徑應(yīng)按照局部系統(tǒng)實際用氣量進行設(shè)計，支管道的直徑應(yīng)按照設(shè)備最大用氣量進行設(shè)計；

2 干燥壓縮空氣輸送露點低于—40℃時，用于管道連接的密封材料宜選用金屬墊片或聚四氟乙烯墊片;

3 當(dāng)設(shè)計軟管連接時，宜選用金屬軟管。

8.4.5 工藝真空系統(tǒng)的設(shè)計應(yīng)符合下列規(guī)定：

1 工藝真空設(shè)備的抽氣能力應(yīng)按生產(chǎn)工藝所需實際用氣量及系統(tǒng)損耗量確定；

2 工藝真空設(shè)備應(yīng)布置在生產(chǎn)廠房內(nèi)的一個或多個供氣站內(nèi)；

3 工藝真空設(shè)備應(yīng)選用能耗少、噪聲低的設(shè)備;

4 工藝真空設(shè)備應(yīng)根據(jù)工藝系統(tǒng)的實際情況選用水環(huán)式或干式真空泵;

5 工藝真空系統(tǒng)應(yīng)設(shè)計真空壓力過低保護裝置。

8.4.6 工藝真空系統(tǒng)的管道設(shè)計應(yīng)符合下列規(guī)定：

1 工藝真空管路設(shè)計應(yīng)布置成支狀系統(tǒng);

2 工藝真空主管道的直徑應(yīng)按照全系統(tǒng)實際抽氣量進行設(shè)計，支干管道的直徑應(yīng)按照局部系統(tǒng)實際抽氣量進行設(shè)計，支管道的直徑應(yīng)按照設(shè)備最大抽氣量進行設(shè)計；

3 工藝真空系統(tǒng)的管道材料宜根據(jù)工藝真空系統(tǒng)的真空壓力及真空特性選用不銹鋼管或厚壁聚氯乙烯管道;

4 當(dāng)設(shè)計軟管連接時，宜選用金屬軟管。

8.4.7 清掃真空系統(tǒng)宜選用移動式清掃真空設(shè)備。

9供暖、通風(fēng)、空氣調(diào)節(jié)與凈化

9.1 一般規(guī)定

9.1.1 潔凈室的空氣潔凈度等級以及潔凈室形式應(yīng)根據(jù)生產(chǎn)工藝對生產(chǎn)環(huán)境的要求確定。

9.1.2 潔凈室的氣流組織應(yīng)根據(jù)潔凈度等級、生產(chǎn)工藝要求以及技術(shù)經(jīng)濟比較確定。

9.1.3 當(dāng)出現(xiàn)下列情況之一時，空氣凈化調(diào)節(jié)系統(tǒng)宜分開設(shè)置：

1 生產(chǎn)工藝中散發(fā)的物質(zhì)對其他工序的產(chǎn)品質(zhì)量及人員安全衛(wèi)生有影響；

2 溫濕度基數(shù)和允許波動范圍差別大的潔凈室；

3 凈化空調(diào)系統(tǒng)和一般空調(diào)系統(tǒng)；

4 潔凈室內(nèi)工藝設(shè)備發(fā)熱、散濕量相差懸殊的潔凈室；

5 系統(tǒng)風(fēng)量過大的凈化空調(diào)系統(tǒng)。

9.1.4 潔凈室內(nèi)的新風(fēng)量應(yīng)取下列兩項中的最大值：

1 補償室內(nèi)排風(fēng)量和保持室內(nèi)正壓值所需新風(fēng)量之和；

2 保證供給潔凈室內(nèi)每人每小時的新風(fēng)量不小于40m3。

9.1.5 潔凈室與周圍的空間應(yīng)保持靜壓差，靜壓差應(yīng)符合下列規(guī)定：

1 不同等級的潔凈室之間的靜壓差不宜小于5Pa；

2 潔凈室與非潔凈室之間的靜壓差不應(yīng)小于5Pa；

3 潔凈室與室外的靜壓差應(yīng)大于10Pa。

9.2 供暖、通風(fēng)與廢氣處理

9.2.1 供暖設(shè)計應(yīng)符合現(xiàn)行國家標準《工業(yè)建筑供暖通風(fēng)與空氣調(diào)節(jié)設(shè)計規(guī)范》GB 50019的有關(guān)規(guī)定。

9.2.2 潔凈室內(nèi)不應(yīng)采用散熱器供暖。

9.2.3 寒冷和嚴寒地區(qū)各動力站房應(yīng)根據(jù)工藝要求設(shè)置值班供暖。

9.2.4 潔凈室內(nèi)產(chǎn)生粉塵和有害氣體的工藝設(shè)備和輔助設(shè)備，均應(yīng)設(shè)局部排風(fēng)裝置，排風(fēng)罩宜為密閉式。

9.2.5 排風(fēng)系統(tǒng)的設(shè)計應(yīng)符合下列規(guī)定：

1 金屬有機化合物化學(xué)氣相沉積設(shè)備的尾氣應(yīng)設(shè)就地處理裝置；

2 酸、堿排風(fēng)應(yīng)獨立設(shè)置系統(tǒng)，風(fēng)機的電機應(yīng)按一級負荷供電；

3 工藝設(shè)備的排風(fēng)系統(tǒng)應(yīng)設(shè)置備用風(fēng)機；

4 有冷凝液產(chǎn)生的酸、堿排風(fēng)系統(tǒng)風(fēng)管宜設(shè)置坡度和排液口，且風(fēng)管系統(tǒng)應(yīng)采取防液體滲漏措施；

5 金屬有機化合物化學(xué)氣相沉積設(shè)備的排風(fēng)系統(tǒng)應(yīng)采取防火、防爆措施；

6 酸、堿、硅烷排風(fēng)系統(tǒng)的風(fēng)管不應(yīng)穿越防火墻或通風(fēng)、空氣調(diào)節(jié)機房的隔墻和樓板，當(dāng)必須穿越時，不得設(shè)置熔片式防火閥；

7 酸、堿排風(fēng)系統(tǒng)的風(fēng)機應(yīng)設(shè)在廢氣處理設(shè)備的下風(fēng)側(cè)；

8 工藝設(shè)備的排風(fēng)溫度高于60℃時，排風(fēng)管應(yīng)設(shè)保溫措施；

9 工藝設(shè)備局部排風(fēng)系統(tǒng)的室外風(fēng)管應(yīng)根據(jù)當(dāng)?shù)貧庀髼l件設(shè)置防結(jié)露保溫措施；

10 潔凈室的排風(fēng)系統(tǒng)應(yīng)設(shè)置防止室外氣流倒灌的措施。

9.2.6 廢氣處理系統(tǒng)的設(shè)計，應(yīng)符合下列規(guī)定：

1 酸、堿廢氣不得采用固定床吸附劑方式處理；

2 酸、堿廢氣宜采用淋洗方式處理，處理設(shè)備的填料層數(shù)、厚度和噴淋藥液循環(huán)量應(yīng)計算確定;處理設(shè)備的加藥、補水和排污應(yīng)采用自動方式;處理設(shè)備宜就近設(shè)置日用藥箱；

3 兩臺及兩臺以上廢氣處理設(shè)備并聯(lián)運行時，應(yīng)在每臺設(shè)備的入口設(shè)置電動或氣動密閉風(fēng)閥；

4 寒冷地區(qū)或嚴寒地區(qū)使用的淋洗式廢氣處理裝置應(yīng)采取防凍措施。

9.2.7 酸、堿廢氣經(jīng)處理后應(yīng)經(jīng)排氣筒排入大氣，排氣筒高度應(yīng)符合環(huán)境評估報告的要求，排氣筒出口處風(fēng)速宜大于或等于18m/s，并應(yīng)符合現(xiàn)行國家標準《大氣污染物綜合排放標準》GB 16297的有關(guān)規(guī)定。

9.2.8 金屬有機化合物化學(xué)氣相沉積間應(yīng)設(shè)置不低于12次/h的事故排風(fēng)。

9.2.9 使用氫氣房間的吊頂上部應(yīng)設(shè)置通風(fēng)換氣措施，排風(fēng)量宜為1次/h～2次/h，吸風(fēng)口上緣至頂棚平面或屋頂?shù)木嚯x不應(yīng)大于0.1m。

9.2.10 換鞋間應(yīng)設(shè)置不低于10次/h的全室排風(fēng)系統(tǒng)，排風(fēng)口宜設(shè)置在下部;換鞋柜宜設(shè)置局部排風(fēng)措施;一次更衣間宜設(shè)置不低于5次/h的全室排風(fēng)系統(tǒng)

9.3 空氣調(diào)節(jié)與凈化

9.3.1 凈化空氣調(diào)節(jié)系統(tǒng)的新風(fēng)應(yīng)進行集中處理，新風(fēng)處理機組的設(shè)置應(yīng)符合下列規(guī)定：

1 送風(fēng)機應(yīng)采取自動調(diào)速措施；

2 空氣宜經(jīng)過粗效、中效、高效過濾器三級處理；

3 新風(fēng)處理機組應(yīng)有良好的氣密性，在工作壓力下的漏風(fēng)率不得大于1%。

9.3.2 光刻間凈化空氣調(diào)節(jié)系統(tǒng)的循環(huán)風(fēng)宜采用風(fēng)機過濾器機組和干冷卻盤管處理，其他潔凈室凈化空氣調(diào)節(jié)系統(tǒng)的循環(huán)風(fēng)宜采用循環(huán)空氣處理機組處理。

9.3.3 金屬有機化合物化學(xué)氣相沉積間的凈化空氣調(diào)節(jié)系統(tǒng)應(yīng)獨立設(shè)置。

9.3.4 循環(huán)空氣處理機組宜采用干冷卻方式處理空氣。

9.3.5 循環(huán)空氣處理機組的風(fēng)機應(yīng)采取自動調(diào)速措施。

9.3.6 空調(diào)加熱、加濕系統(tǒng)的設(shè)計應(yīng)利于工廠余熱的利用。

9.3.7 潔凈室的送風(fēng)量，應(yīng)符合現(xiàn)行國家標準《潔凈廠房設(shè)計規(guī)范》GB 50073的有關(guān)規(guī)定。

9.3.8 凈化空氣調(diào)節(jié)系統(tǒng)的新風(fēng)吸入口位置，應(yīng)遠離排放有害物或可燃物的排氣口。

9.3.9 潔凈室的噪聲控制設(shè)計的噪聲級(空態(tài))應(yīng)符合現(xiàn)行國家標準《電子工業(yè)潔凈廠房設(shè)計規(guī)范》GB 50472的有關(guān)規(guī)定，但當(dāng)潔凈室采用風(fēng)機過濾器機組和干冷卻盤管處理循環(huán)空氣時，單向流和混合流潔凈室的噪聲級(空態(tài))不應(yīng)大于70dB(A)，非單向流潔凈室的噪聲級(空態(tài))不應(yīng)大于65dB(A)。

9.4 防排煙

9.4.1 生產(chǎn)廠房中防煙樓梯間、前室或合用前室宜設(shè)置自然排煙設(shè)施，當(dāng)不能滿足自然排煙要求時，應(yīng)設(shè)置機械排煙系統(tǒng)。機械排煙系統(tǒng)的設(shè)置應(yīng)符合現(xiàn)行國家標準《建筑設(shè)計防火規(guī)范》GB 50016的有關(guān)規(guī)定。

9.4.2 生產(chǎn)廠房中不具備自然排煙的疏散走廊，應(yīng)設(shè)置機械排煙系統(tǒng)。

9.4.3 金屬有機化合物化學(xué)氣相沉積設(shè)備車間內(nèi)應(yīng)設(shè)置機械排煙系統(tǒng)，其他車間排煙系統(tǒng)的設(shè)置應(yīng)符合現(xiàn)行國家標準《建筑設(shè)計防火規(guī)范》GB 50016和《電子工業(yè)潔凈廠房設(shè)計規(guī)范》GB 50472的有關(guān)規(guī)定。

9.4.4 潔凈室(區(qū))的排煙系統(tǒng)應(yīng)有防止室外氣流倒灌的措施，并應(yīng)設(shè)置旁通管路用于平時巡檢。

9.4.5 潔凈室(區(qū))內(nèi)的排煙風(fēng)管當(dāng)使用產(chǎn)塵的保溫材料進行隔熱時，應(yīng)為具有雙層金屬板夾保溫材料構(gòu)造的成品保溫風(fēng)管，保溫材料應(yīng)符合現(xiàn)行國家標準《建筑設(shè)計防火規(guī)范》GB 50016的有關(guān)規(guī)定。內(nèi)層金屬板的厚度應(yīng)符合現(xiàn)行國家標準《通風(fēng)與空調(diào)工程施工質(zhì)量驗收規(guī)范》GB 50243的有關(guān)規(guī)定。

10給水排水

10.1 一般規(guī)定

10.1.1 發(fā)光二極管工廠的給水排水設(shè)計應(yīng)符合現(xiàn)行國家標準《建筑給水排水設(shè)計規(guī)范》GB 50015的有關(guān)規(guī)定，并應(yīng)符合下列規(guī)定：

1 設(shè)有技術(shù)夾層的發(fā)光二極管工廠，其廠房內(nèi)的給水排水干管應(yīng)敷設(shè)在技術(shù)夾層內(nèi);

2 潔凈室內(nèi)不宜穿過與該潔凈室無關(guān)的給排水管道，當(dāng)必須穿過時，應(yīng)采取可靠的防滲漏、防結(jié)露措施。

10.1.2 廢水管道不宜直接敷設(shè)在首層結(jié)構(gòu)板下，當(dāng)必須直接敷設(shè)時，應(yīng)采取可靠的防滲漏措施。

10.2 一般給水排水

10.2.1 應(yīng)根據(jù)生產(chǎn)工藝對水質(zhì)、水溫、水壓、水量的要求確定給水系統(tǒng)。

10.2.2 下列場所應(yīng)設(shè)置緊急淋浴器或洗眼器：

1 危險化學(xué)品儲存、配置區(qū)域;

2 可能產(chǎn)生化學(xué)品泄漏的區(qū)域;

3 毒性、腐蝕性氣體的特種氣體間。

10.2.3 緊急淋浴器或洗眼器的服務(wù)半徑不宜大于15m，且服務(wù)半徑內(nèi)不應(yīng)有障礙物。

10.2.4 給水、排水管道的管材應(yīng)符合下列規(guī)定：

1 給水管道的材質(zhì)及接口應(yīng)滿足生產(chǎn)工藝對水質(zhì)、水壓、水溫等的要求;

2 排水管道的材質(zhì)及接口應(yīng)滿足生產(chǎn)廢水水質(zhì)的要求。

10.2.5 排水收集系統(tǒng)的設(shè)置應(yīng)符合下列規(guī)定：

1 生產(chǎn)廢水、生活污水系統(tǒng)應(yīng)分別設(shè)置；

2 不同污染物的生產(chǎn)廢水宜分別設(shè)置；

3 廢水與廢液應(yīng)分別設(shè)置；

4 含有砷及其他重金屬污染物的廢水應(yīng)單獨設(shè)置收集系統(tǒng)。

10.2.6 生產(chǎn)廢水收集系統(tǒng)宜設(shè)置通氣管，通氣管應(yīng)高出屋面2m。

10.2.7 雨水系統(tǒng)應(yīng)符合現(xiàn)行國家標準《電子工業(yè)潔凈廠房設(shè)計規(guī)范》GB 50472的有關(guān)規(guī)定。

10.2.8 潔凈室(區(qū))內(nèi)地漏等排水設(shè)施的設(shè)置，應(yīng)符合現(xiàn)行國家標準《潔凈廠房設(shè)計規(guī)范》GB 50073的有關(guān)規(guī)定。

10.2.9 廠區(qū)化學(xué)品存儲、分配、收集、卸貨區(qū)域應(yīng)設(shè)置事故排水的儲存設(shè)施。

10.2.10 當(dāng)設(shè)有廢水收集槽且采用提升泵輸送廢水時，廢水提升泵宜設(shè)置應(yīng)急備用電源。

10.3 純 水

10.3.1 純水系統(tǒng)的設(shè)計應(yīng)符合現(xiàn)行國家標準《電子工業(yè)潔凈廠房設(shè)計規(guī)范》GB 50472的有關(guān)規(guī)定，并應(yīng)符合下列規(guī)定：

1 純水系統(tǒng)的水質(zhì)應(yīng)根據(jù)生產(chǎn)工藝的要求確定；

2 純水系統(tǒng)供水管網(wǎng)的循環(huán)回流水量不宜小于設(shè)計供水量的20%；

3 純水制備系統(tǒng)及供水管網(wǎng)的回收率應(yīng)根據(jù)項目實際情況確定；

4 純水供給管路系統(tǒng)的布置應(yīng)確保用水點的水質(zhì)。

10.3.2 純水制備區(qū)域的排水管道應(yīng)確保制水設(shè)備瞬時排水能得到及時排除。

10.4 工藝冷卻循環(huán)水

10.4.1 工藝設(shè)備冷卻循環(huán)水的水質(zhì)、水溫、水壓應(yīng)根據(jù)生產(chǎn)設(shè)備要求確定。

10.4.2 工藝冷卻循環(huán)水系統(tǒng)宜采用開式系統(tǒng)。

10.4.3 工藝冷卻循環(huán)水系統(tǒng)的管材及配件應(yīng)根據(jù)水質(zhì)要求確定，不宜采用焊接鋼管。

10.4.4 當(dāng)工藝冷卻水系統(tǒng)的水溫要求與管道布置的環(huán)境溫度不同時，管道系統(tǒng)應(yīng)采取保溫措施。

10.4.5 工藝冷卻水系統(tǒng)應(yīng)設(shè)置應(yīng)急備用電源。

10.4.6 工藝冷卻水的補水水質(zhì)應(yīng)滿足工藝設(shè)備的要求。

10.5 廢水處理

10.5.1 發(fā)光二極管工廠的廢水處理應(yīng)符合現(xiàn)行國家標準《電子工程環(huán)境保護設(shè)計規(guī)范》GB 50814的有關(guān)規(guī)定，并應(yīng)符合下列規(guī)定：

1 應(yīng)根據(jù)廢水水量、水質(zhì)及排放標準等確定處理流程；

2 廢水處理設(shè)施及末端排放宜設(shè)置在線監(jiān)測儀表；

3 處理系統(tǒng)采用的管材宜與收集系統(tǒng)一致。

10.5.2 含砷及其他重金屬的廢水應(yīng)單獨設(shè)置處理系統(tǒng)。

10.6 消 防

10.6.1 發(fā)光二極管工廠應(yīng)設(shè)置消防給水系統(tǒng)。

10.6.2 消防給水系統(tǒng)的設(shè)置應(yīng)符合現(xiàn)行國家標準《建筑設(shè)計防火規(guī)范》GB 50016及《自動噴水滅火系統(tǒng)設(shè)計規(guī)范》GB 50084的有關(guān)規(guī)定，并應(yīng)符合下列規(guī)定：

1 潔凈室生產(chǎn)區(qū)應(yīng)設(shè)置室內(nèi)消火栓；

2 潔凈生產(chǎn)區(qū)應(yīng)設(shè)置自動噴水滅火系統(tǒng)，噴水強度不應(yīng)小于8L/min·m2，作用面積不應(yīng)小于160m2;潔凈室或潔凈區(qū)內(nèi)向下氣流區(qū)域內(nèi)應(yīng)采用快速反應(yīng)噴頭；

3 特種氣體站、硅烷站的消防設(shè)計應(yīng)符合現(xiàn)行國家標準《特種氣體系統(tǒng)工程技術(shù)規(guī)范》GB 50646的有關(guān)規(guī)定。

10.6.3 設(shè)置固定滅火裝置的倉庫，應(yīng)按現(xiàn)行國家標準《自動噴水滅火系統(tǒng)設(shè)計規(guī)范》GB 50084的有關(guān)規(guī)定執(zhí)行。

10.6.4 潔凈區(qū)內(nèi)宜配置的手提二氧化碳滅火器不應(yīng)對潔凈環(huán)境產(chǎn)生破壞，廠房內(nèi)其余場所配置的滅火器應(yīng)符合現(xiàn)行國家標準《建筑滅火器配置設(shè)計規(guī)范》GB 50140的有關(guān)規(guī)定。

11電氣

11.1 供配電與照明

11.1.1 發(fā)光二極管工廠的用電負荷等級和供電，應(yīng)根據(jù)生產(chǎn)工藝及設(shè)備要求確定，并應(yīng)符合現(xiàn)行國家標準《供配電系統(tǒng)設(shè)計規(guī)范》GB 50052的有關(guān)規(guī)定。

11.1.2 主要生產(chǎn)工藝設(shè)備宜由專用變壓器或?qū)Ｓ玫蛪吼侂娋€路供電，當(dāng)對斷電時間或電源質(zhì)量有特殊要求時，工作電源宜設(shè)置不間斷電源(UPS)或其他提高電源質(zhì)量的設(shè)備。

11.1.3 發(fā)光二極管工廠低壓配電電壓應(yīng)符合生產(chǎn)工藝設(shè)備用電要求。配電系統(tǒng)接地的型式宜采用TN-S或TN-C-S系統(tǒng)。

11.1.4 發(fā)光二極管工廠的消防用電負荷分級及供電要求，應(yīng)符合現(xiàn)行國家標準《建筑設(shè)計防火規(guī)范》GB 50016的有關(guān)規(guī)定。

11.1.5 潔凈室內(nèi)應(yīng)選擇不易積塵、便于擦拭的配電設(shè)備。

11.1.6 發(fā)光二極管廠房的電氣管線敷設(shè)在潔凈室內(nèi)時宜暗敷。穿線導(dǎo)管應(yīng)采用不燃材料。潔凈區(qū)內(nèi)的電氣管線管口及安裝于墻上的各種電器設(shè)備與墻體接縫處應(yīng)有可靠的密封措施。

11.1.7 發(fā)光二極管廠房內(nèi)易燃、易爆氣體或液體的入口室、輔助間的電氣設(shè)計應(yīng)根據(jù)易燃、易爆氣體或液體的特性確定，并應(yīng)符合現(xiàn)行國家標準《爆炸危險環(huán)境電力裝置設(shè)計規(guī)范》GB 50058的有關(guān)規(guī)定。

11.1.8 潔凈室內(nèi)照明光源，宜采用高效熒光燈。當(dāng)工藝有特殊要求或照度值達不到設(shè)計要求時，也可采用其他形式光源。

11.1.9 潔凈室內(nèi)一般照明燈具宜為吸頂明裝或嵌入頂棚暗裝。當(dāng)嵌入頂棚暗裝時，其安裝縫隙應(yīng)有可靠的密封措施，同時應(yīng)便于燈管維修和更換。

11.1.10 發(fā)光二極管廠房潔凈室(區(qū))的主要生產(chǎn)用房一般照明的照度值應(yīng)根據(jù)工藝生產(chǎn)的要求確定，并應(yīng)符合現(xiàn)行國家標準《建筑照明設(shè)計標準》GB 50034的有關(guān)規(guī)定。

11.1.11 廠房內(nèi)應(yīng)設(shè)置供人員疏散用的應(yīng)急照明。在安全出口、疏散口和疏散通道轉(zhuǎn)角處設(shè)置疏散標志應(yīng)符合現(xiàn)行國家標準《建筑設(shè)計防火規(guī)范》GB 50016的有關(guān)規(guī)定。在專用消防口處應(yīng)設(shè)置紅色應(yīng)急照明燈。

11.2 防雷與接地

11.2.1 發(fā)光二極管廠房的防雷系統(tǒng)設(shè)計應(yīng)符合現(xiàn)行國家標準《建筑物防雷設(shè)計規(guī)范》GB 50057和《建筑物電子信息系統(tǒng)防雷技術(shù)規(guī)范》GB 50343的有關(guān)規(guī)定。

11.2.2 發(fā)光二極管廠房生產(chǎn)設(shè)備的功能接地電阻不宜大于1Ω，有特殊接地要求的設(shè)備，應(yīng)滿足設(shè)備要求的接地電阻值。

11.2.3 功能性接地、保護性接地、電磁兼容性接地、建筑防雷接地、防靜電接地宜采用共用接地系統(tǒng)，并應(yīng)遵循等電位聯(lián)結(jié)的原則，接地電阻值應(yīng)按其中最小值確定，且不宜大于1Ω。

11.2.4 選擇分散接地方式時，各種功能接地系統(tǒng)的接地體應(yīng)遠離防雷接地系統(tǒng)的接地體。分開設(shè)置的接地系統(tǒng)接地極與共用接地系統(tǒng)接地極應(yīng)保持20m及以上的間距。

11.3 自 控

11.3.1 發(fā)光二極管廠房環(huán)境和公用動力設(shè)備監(jiān)控系統(tǒng)宜采用集散或分布式網(wǎng)絡(luò)結(jié)構(gòu)，系統(tǒng)應(yīng)易于擴展和維護，并應(yīng)具備顯示、記錄、控制、報警、分析和提示功能。

11.3.2 潔凈區(qū)與非潔凈區(qū)之間應(yīng)設(shè)置壓差變送器，潔凈區(qū)與非潔凈區(qū)之間的壓差宜為5Pa。當(dāng)潔凈區(qū)凈化空調(diào)選用變頻風(fēng)機時，設(shè)備監(jiān)控系統(tǒng)應(yīng)根據(jù)潔凈區(qū)與非潔凈區(qū)之間的壓差設(shè)定值調(diào)節(jié)風(fēng)機轉(zhuǎn)速。

11.3.3 空調(diào)系統(tǒng)的電加熱器應(yīng)設(shè)有無風(fēng)、超溫斷電保護;當(dāng)采用電加濕器時，應(yīng)設(shè)有無水保護。

11.4 通 信

11.4.1 潔凈室(區(qū))內(nèi)應(yīng)設(shè)置內(nèi)外聯(lián)系的語音通信設(shè)施。

11.4.2 潔凈室(區(qū))內(nèi)應(yīng)根據(jù)管理及工藝的需要設(shè)置數(shù)據(jù)通信插座。

11.4.3 語音和數(shù)據(jù)通信線路宜采用綜合布線系統(tǒng)，其配線及管理設(shè)備不宜設(shè)在潔凈室(區(qū))內(nèi)。

11.5 安全防護

11.5.1 發(fā)光二極管工廠應(yīng)設(shè)火災(zāi)自動報警及消防聯(lián)動控制系統(tǒng)，系統(tǒng)的設(shè)置應(yīng)符合現(xiàn)行國家標準《火災(zāi)自動報警系統(tǒng)設(shè)計規(guī)范》GB 50116的有關(guān)規(guī)定，并應(yīng)符合下列規(guī)定：

1 潔凈廠房的潔凈室(區(qū))及輔助建筑均應(yīng)設(shè)智能型火災(zāi)探測器;

2 當(dāng)潔凈室(區(qū))點式探測器設(shè)置條件不能滿足現(xiàn)行規(guī)范設(shè)計要求時，宜選擇吸氣式空氣采樣早期煙霧探測系統(tǒng)；

3 潔凈室(區(qū))出入口內(nèi)外均應(yīng)設(shè)置手動火災(zāi)報警按鈕；

4 潔凈室(區(qū))內(nèi)主入口應(yīng)設(shè)消防專用電話分機；

5 潔凈室(區(qū))的消防聯(lián)動控制應(yīng)符合現(xiàn)行國家標準《電子工業(yè)潔凈廠房設(shè)計規(guī)范》GB 50472的有關(guān)規(guī)定；

6 潔凈室(區(qū))的空調(diào)及排煙系統(tǒng)聯(lián)動控制應(yīng)在火災(zāi)核實并確認后，控制室或現(xiàn)場手動控制。

11.5.2 發(fā)光二極管工廠特種氣體應(yīng)設(shè)泄漏監(jiān)控及安全系統(tǒng)，系統(tǒng)的設(shè)置及聯(lián)動控制應(yīng)符合現(xiàn)行國家標準《特種氣體系統(tǒng)工程技術(shù)規(guī)范》GB 50646的有關(guān)規(guī)定。

11.5.3 發(fā)光二極管工廠化學(xué)品的儲存場所應(yīng)設(shè)置視頻監(jiān)控與門禁設(shè)施。

11.5.4 發(fā)光二極管工廠應(yīng)設(shè)置應(yīng)急廣播，潔凈室(區(qū))內(nèi)揚聲器的選擇不應(yīng)對潔凈區(qū)域的潔凈度造成影響。

12防靜電

12.1 一般規(guī)定

12.1.1 發(fā)光二極管生產(chǎn)廠房應(yīng)根據(jù)生產(chǎn)工藝要求設(shè)置防靜電工作區(qū)。防靜電工作區(qū)設(shè)計應(yīng)滿足環(huán)境控制靜電放電、防止靜電危害事故的要求。

12.1.2 防靜電工作區(qū)設(shè)計應(yīng)按照發(fā)光二極管生產(chǎn)工序的要求進行分級。防靜電工作區(qū)靜電電位絕對值應(yīng)小于產(chǎn)品的靜電電位安全值。

12.1.3 發(fā)光二極管防靜電工作區(qū)設(shè)計分級標準適用工序可按表12.1.3確定。

表12.1.3 發(fā)光二極管生產(chǎn)廠房防靜電工作區(qū)設(shè)計分級標準適用工序

防靜電級別靜電電位絕對值(V)適用工序

二級≤200裂片、繃片、分類篩選

三級≤1000

注：1 發(fā)光二極管制造設(shè)備可按防靜電工作區(qū)設(shè)計分級三級標準設(shè)計；

2 成品庫成品貨架可按防靜電工作區(qū)設(shè)計分級三級標準設(shè)計。

12.1.4 發(fā)光二極管生產(chǎn)廠房防靜電工作區(qū)的設(shè)計應(yīng)符合現(xiàn)行國家標準《電子工程防靜電設(shè)計規(guī)范》GB 50611的有關(guān)規(guī)定。

12.2 防靜電措施

12.2.1 發(fā)光二極管生產(chǎn)廠房防靜電工作區(qū)中，防靜電地面應(yīng)符合下列規(guī)定：

1 防靜電地面的表層應(yīng)采用導(dǎo)靜電材料或靜電耗散性材料，其表面電阻應(yīng)為2.5×104Ω～1.0×109Ω；

2 防靜電地面應(yīng)設(shè)置靜電泄放導(dǎo)電層和接地連接，其對地電阻應(yīng)為2.5×104Ω～1.0×109Ω；

3 防靜電地面應(yīng)具有可靠的靜電泄放接地系統(tǒng);地面導(dǎo)電層接地引出點不應(yīng)少于2處，且相鄰間距不應(yīng)大于25m。

12.2.2 當(dāng)防靜電工作區(qū)含有吊頂和墻、柱面時，其裝飾應(yīng)符合下列規(guī)定：

1 吊頂和墻、柱面裝飾的罩面板應(yīng)選用導(dǎo)靜電材料或靜電耗散性材料制作，罩面板的表面電阻應(yīng)為2.5×104Ω～1.0×109Ω；

2 二級防靜電工作區(qū)的墻、柱面不設(shè)置導(dǎo)電層時，應(yīng)涂刷防靜電涂層，或裝飾靜電耗散層，其表面電阻不應(yīng)大于1.0×109Ω；

3 頂棚和墻、柱面裝飾有導(dǎo)電層要求時，應(yīng)制定合理的導(dǎo)電層方案，采用十字型構(gòu)造銅箔或設(shè)置多點間接接地的接點。當(dāng)頂棚和墻、柱面裝飾設(shè)置基層骨架時，骨架應(yīng)選用金屬材料制作，金屬骨架應(yīng)接地。接地連接點的設(shè)置每個房間不應(yīng)少于4處，相鄰連接點之間距離不應(yīng)大于18m。

12.2.3 當(dāng)防靜電工作區(qū)含有門窗時，設(shè)計應(yīng)符合下列規(guī)定：

1 二級防靜電工作區(qū)應(yīng)選用靜電耗散性材料制作門或采用靜電耗散性材料貼面;三級防靜電工作區(qū)可采用低起電材料制作，其摩擦起電電壓絕對值不應(yīng)大于1000V；

2 室內(nèi)隔斷和觀察窗安裝大面積玻璃時，其表面應(yīng)粘貼靜電耗散性透明薄膜，或噴涂靜電耗散性涂層。

12.2.4 防靜電工作區(qū)的其他裝修設(shè)計應(yīng)符合下列規(guī)定：

1 各類裝修材料應(yīng)具有表面靜電耗散性能，不得使用未經(jīng)表面改性處理的高分子絕緣材料；

2 各類裝修的飾面應(yīng)平整光滑。

12.2.5 防靜電工作區(qū)的空氣調(diào)節(jié)系統(tǒng)送風(fēng)口和風(fēng)管應(yīng)選用導(dǎo)電材料制作，并應(yīng)防靜電接地。

12.2.6 防靜電工作區(qū)的空氣調(diào)節(jié)系統(tǒng)、各種配管當(dāng)使用部分絕緣性材質(zhì)時，應(yīng)在配管表面安裝緊密結(jié)合的金屬網(wǎng)，并應(yīng)將金屬網(wǎng)接地。使用導(dǎo)電性非金屬軟管時，應(yīng)在軟管上安裝與其緊密結(jié)合的接觸面積不小于20cm2的金屬導(dǎo)體，并應(yīng)用接地引線與金屬導(dǎo)體可靠連接后接地。

12.2.7 防靜電工作區(qū)的送風(fēng)口和各種管道的輸出入口裝置，與配管系統(tǒng)之間應(yīng)有可靠的電氣連接，并應(yīng)可靠接地。送風(fēng)口和各種管道的輸出入口裝置表面應(yīng)涂刷防靜電涂層，或按工藝要求進行防靜電處理。

12.2.8 防靜電工作區(qū)應(yīng)根據(jù)生產(chǎn)工藝的需要設(shè)置靜電消除器、防靜電安全工作臺。

12.3 防靜電接地

12.3.1 防靜電工作區(qū)頂棚、墻面、地面的防靜電接地，人體防靜電接地，操作裝置和儀器的防靜電接地，應(yīng)分別選擇適當(dāng)位置設(shè)置接地連接裝置。接地連接裝置可使用易于裝拆的各種夾式連接器，但應(yīng)保證電氣連接可靠。

12.3.2 防靜電工作區(qū)內(nèi)應(yīng)設(shè)置防靜電接地端子板、接地網(wǎng)格，或截面積不小于100mm2的閉合接地銅排環(huán)。防靜電接地引線應(yīng)從防靜電接地端子板、接地網(wǎng)格或閉合銅排環(huán)上就近接地，接地引線應(yīng)使用多股銅線，導(dǎo)線截面積不應(yīng)小于1.5mm2。

12.3.3 防靜電接地系統(tǒng)在接入大地前應(yīng)經(jīng)總等電位接地端子板或樓層接地端子板引至接地網(wǎng)。

12.3.4 防靜電接地宜選擇聯(lián)合接地方式。當(dāng)選擇單獨接地方式時，接地電阻值不應(yīng)大于10Ω，并與防雷接地裝置保持不小于20m的間距。

12.3.5 爆炸危險和火災(zāi)危險環(huán)境的各種流動液體、氣體或粉體管道安裝的防靜電措施應(yīng)符合現(xiàn)行國家標準《工業(yè)金屬管道設(shè)計規(guī)范》GB 50316的有關(guān)規(guī)定。

13空間管理

13.1 一般規(guī)定

13.1.1 空間管理設(shè)計應(yīng)滿足工藝設(shè)備和公用設(shè)備的外型尺寸、平面布置、運行、維修及其管線安裝要求。

13.1.2 潔凈生產(chǎn)層凈高應(yīng)按照生產(chǎn)設(shè)備和物料運輸設(shè)備尺寸、微環(huán)境裝置及潔凈氣流控制等因素確定，不宜低于3m。

13.1.3 上技術(shù)夾層凈高應(yīng)按照空調(diào)設(shè)備、管線布置、潔凈氣流控制等因素確定，不宜低于2m。

13.2 管線布置

13.2.1 管線布置應(yīng)符合下列規(guī)定：

1 管線布置應(yīng)滿足生產(chǎn)工藝、安全間距和維修要求；

2 管線布置不應(yīng)影響工藝設(shè)備搬入和物料運輸；

3 管線之間及管線與建筑物墻壁、溝壁或立柱間凈距應(yīng)滿足管線安裝操作要求；

4 各種管線宜成排布置，單排管線宜按照管線材質(zhì)及壓力和重力管線分組；

5 壓力管線與重力管線交叉時壓力管線應(yīng)避讓重力管線；

6 臨時性管線應(yīng)避讓永久性管線。

13.2.2 管線布置自上至下宜按照消防管線、電氣管線、水氣管線、風(fēng)管的順序布置。

13.2.3 管線布置應(yīng)滿足各專業(yè)系統(tǒng)布置的要求。

13.2.4 氧氣、氫氣管線與其他管線間距應(yīng)符合現(xiàn)行國家標準《氧氣站設(shè)計規(guī)范》GB 50030、《氫氣站設(shè)計規(guī)范》GB 50177和《大宗氣體純化及輸送系統(tǒng)工程技術(shù)規(guī)范》GB 50724的有關(guān)規(guī)定。

13.2.5 特種氣體管線、化學(xué)品供應(yīng)管線宜成排布置，且宜布置在槽架內(nèi)，槽架與其他管線凈距不宜小于200mm。

13.2.6 落地安裝的管線應(yīng)滿足閥門、法蘭、過濾器等管道附件的安裝要求，管底或保溫層底距地面不應(yīng)小于150mm。

13.2.7 技術(shù)夾層內(nèi)的管線布置應(yīng)符合下列規(guī)定：

1 技術(shù)夾層管線布置應(yīng)按照工藝設(shè)備布置統(tǒng)籌規(guī)劃；

2 技術(shù)夾層管線布置宜預(yù)留檢修通路；

3 上技術(shù)夾層管線布置應(yīng)滿足風(fēng)機過濾器機組、高效過濾器、超高效過濾器等設(shè)備的安裝及檢修要求。

13.2.8 管線宜布置在上技術(shù)夾層和技術(shù)夾道，當(dāng)布置在潔凈室內(nèi)時應(yīng)滿足工藝設(shè)備的運行及檢修要求。

13.2.9 特種氣體管線、危險氣體管線、化學(xué)品供應(yīng)管線等宜布置在潔凈生產(chǎn)層。

附錄A 發(fā)光二極管典型生產(chǎn)環(huán)境要求

表A 發(fā)光二極管典型生產(chǎn)環(huán)境要求

附錄B 發(fā)光二極管生產(chǎn)工藝動力品質(zhì)要求

B.0.1 發(fā)光二極管生產(chǎn)工藝動力品質(zhì)(氣體)要求可按表B.0.1執(zhí)行。

表B.0.1 工藝動力品質(zhì)(氣體)要求

注：表中所列數(shù)值為參考值，根據(jù)選擇的設(shè)備不同，會有差別。

B.0.2 發(fā)光二極管生產(chǎn)工藝動力品質(zhì)(水)要求可按表B.0.2執(zhí)行。

表B.0.2 工藝動力品質(zhì)(水)要求

附錄C 發(fā)光二極管生產(chǎn)的典型工藝流程

C.1 整體流程

C.1.1 發(fā)光二極管生產(chǎn)宜包括外延片生長、管芯(芯片)制造、管芯(芯片)封裝三部分。

C.1.2 發(fā)光二極管生產(chǎn)可采用圖C.1.2所示基本工藝流程。

C.1.2 發(fā)光二極管生產(chǎn)基本工藝流程